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energy loss spectroscopy (EELS)
전자 에너지 손실 분광법(EELS)
표면 분석 기술로, 저에너지 전자가 표면과 충돌할 때 손실되는 에너지를 측정하는 방법
[특징]
- 투과전자현미경(TEM)과 함께 사용할 수 있음
- 원자 수준의 화학물 및 구조적 특성을 분석할 수 있음
- 나노미터 영역의 분말 등 원소의 분포가 불균일한 재료 분석에 유용
[과정]
- 저에너지 전자를 표면에 충돌시킴
- 충돌하는 전자가 표면을 여기시켜 에너지를 잃음
- 비탄성 산란 전자의 에너지 손실 스펙트럼을 얻음
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